超微机械加工是什么

更新时间2019-10-15 01:34:24

这位朋友，超微机械加工技术就是集成电路的各种微电子电路的尺寸间距、引线向纳米前进。这种技术的关键是形成微加工区和引线光刻技术。为了提高加工精细水平，由传统的接触掩膜光刻发展到投影光刻，并采用波长短的紫外光同步辐射或电子束作为光（辐射）源，用它们进行曝光可以获得更高的分辨能力。与超精细光刻技术配合的超微加工技术还有自对准技术、离子注入掺杂、激光淀积布线。今后的微细加工方向，将是对这些装置进行改良，开发分辨能力更高的抗蚀剂，以及采用能看到原子的扫描隧道显微镜STM和场离子显微镜FIM等。