求助！ICP刻蚀设备哪个牌子比较好？华慧高芯网做这个工艺怎么样

更新时间2019-04-01 17:27:20

您好！华慧高芯网推荐ICP刻蚀机Oxford Instrument PlasmaPro System100 ICP 180 ，该设备是英国牛津仪器公司的主流高端设备，也是目前业内最为推崇的设备之一。
主要应用于：
直径6英寸及以下Si的均匀刻蚀
稳定性好，重复性高，兼容性
同时兼容多种刻蚀工艺
广泛应用于半导体材料、光电子学、集成电路、激光光学、红外探测器、功率器件、MEMS系统等加工与研究
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