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ALD制备氧化铝薄膜的表面上上为什么是AL(OH)2而不是氧化铝

更新时间2018-04-25 01:20:57

ALD制备氧化铝薄膜的表面上上为什么是AL(OH)2而不是氧化铝

AL(OH)2错误,应为AL(OH)3

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